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  • 简介:GaAs半导体材料可以提高器件运行速度,日益引起人们的注意,但是也给器件制造者带来了许多问题。在本文个,一个全新的可应用于HEMT器件的亚微米X射线T型栅工艺被提出来,该工艺采用三层胶方法,曝光实验是在北京同步辐射3BlA束线上进行的,并且取得了好的结果。

  • 标签: GAAS 半导体材料 亚微米X射线T型栅工艺 制造 半导体器件 X射线光刻
  • 简介:蒸汽发生器传热管是反应堆冷却剂压力边界的主要组成部分,这就意味着必须保持传热管的完整性。然而,运行经验表明,蒸汽发生器传热管会出现各种质。这些质可能会导致管子的泄漏或破裂,使反应堆冷却剂丧失,并提供了直接通向二回路和释放到环境中去的途径。本文将介绍几种已知的传热管质,传热管完整性性能准则.并对蒸汽发生器传热管完整性进行评估。

  • 标签: 蒸汽发生器 传热管 降质 完整性