简介:摘要:在设备工程领域,设备的安装与调试是确保设备正常运行、发挥性能的关键环节。本文深入探讨了设备安装与调试技术的重要性、流程、技术要点以及常见问题与解决措施,通过实际案例分析,阐述了科学合理的安装与调试技术对提高设备可靠性和生产效率的积极作用,并对未来设备安装与调试技术的发展趋势进行了展望。
简介:TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限