简介:摘要:直流辉光放电等离子体广泛应用于材料表面成分分析及镀层深度分析等领域,等离子体电子密度直接影响离化及激发速率,同时它在放电腔体中的均匀性也与溅射的均匀性有关。为了研究腔体内等离子体的放电特性,本文采用COMSOL Multiphysics仿真软件,基于流体力学方程对辉光放电等离子体的电子密度特性进行仿真研究。研究结果表明,随着电极电流的增加等离子体电子密度整体增高,其轴向电子密度也在升高,且电子密度的均匀性随着电流的增加而变差;等离子体电子密度随着气压的增加而增加,径向电子密度的均匀性随着气压的增加而有轻微改善。研究结果对指导直流辉光等离子体参与材料表面成分分析及镀层深度分析等具有重要意义。
简介:摘要 齿轮辉光离子渗氮是一种先进的表面环保热处理方式,具有微变形、高硬度、高耐磨等特点。但辉光离子渗氮层均匀性和工艺再现性较差。本文从增加辅助热源、调整产品放置间距、不同装炉方式三个方面探索齿轮辉光离子渗氮层均匀性控制。
简介:摘要本文利用单芯片升压技术,结合专用时钟芯片DS3231,实现了辉光管的驱动发光与时间显示;同时使用无线充电实现了电源供给。这种方案的好处是克服了传统辉光管时钟电路相对复杂、功耗大的缺点,具有电路相对简单紧凑、性能稳定可靠的优点;制成的辉光管时钟在个性化市场具有吸引力。
简介:摘要:本文利用COMSOL Multiphysics数值模拟软件对辉光放电激发光源的放电空间进行数值模拟仿真,在仿真过程中进行了详细的参数设置,最终得到放电空间的电子密度分布云图。可以观察到,放电空间中心区域等离子体密度较低,这将导致无法均匀平整地对样品进行激发。根据该仿真结果,在后续研究中需要针对这种现象提出相关改善方法,以保证辉光放电发射光谱仪较高的层间分辨率。