简介：本文介绍了超临界流体及其特性、超临界流体清洗工艺及特点.结合现有的研究结果,论述了在微电子加工中应用超临界流体的可行性和有效性.并以硅片的清洗和干燥为例,说明了超临界CO2的应用优势,指出了超临界流体在微电子技术中尚需要解决的技术问题及其广阔的应用前景.
简介：摘要随着社会的不断发展，人们对于生活质量的要求越来越高。热能工程主要是在寒冷的季节中为人们提供足够的热量，用于保暖。但是供热领域不仅仅包括生活领域，在一些工程生产中也需要热能工程的存在。并且随着社会的发展，传统的供热技术已经不再适合时代的要求，需要对供热技术进行不断的改革创新。本文主要是通过对当前供热领域中存在的问题的分析，提出进行供热技术改革创新的方法。
超临界流体在微电子器件清洗中的应用
时代环境下探讨热能工程技术在供热领域中的改革及创新
