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  • 简介:采用溶胶-凝胶工艺,以Ni(Ac)2、La(NO3)3为前驱原料,以乙醇和乙二醇甲醚为溶剂,以丙烯酸为稳定剂,乙酰丙酮(AcAc)为化学修饰剂制备了感光性LNO溶胶。通过其溶胶的紫外和红外吸收光谱研究了感光性LNO溶胶的紫外感光机理,并运用溶胶-凝胶直接感光法制备出LNO薄膜的微细图形

  • 标签: 镍酸镧薄膜 微细加工 溶胶-凝胶直接感光法 微细图形