简介：摘要半导体设备是芯片制备的载体,多用铝合金作腔体。本文以铝合金腔体出现的水路堵塞、腐蚀现象为研究对象。通过水路堵塞、腐蚀现象的状态展示，扫描电镜的化学成分分析及堵塞颗粒物成因模拟实验，探索、找寻堵塞、腐蚀现象的成因及解决办法。实验及分析结果表明因铝本身的化学活性易与多种材料（铜、铁、镍等）发生化学乃至电化学反应，以致形成颗粒状氧化物造成材料表面腐蚀及管路堵塞。
简介：摘要： 高压板式换热器是由一系列有波纹形状金属片叠装成的高效换热器，具有传染系数高、重量轻、热损失小等特征，被广泛应用于太阳能、钢铁工业、化学工业、冶金工业和食品工业等领域中，但在应用中会存在氧通道堵塞现象，影响设备的使用效果。基于此，本次研究主要围绕空分高压板式换热器进行探讨，阐述设备作业流程，并分析氧通道堵塞原因，探讨故障处理措施，并提出防范措施。
简介：
半导体设备铝合金腔体水路堵塞、腐蚀问题分析
大型空分高压板式换热器氧通道堵塞原因研究
航空导管的研究与制造技术
建筑室内排水管道施工中的防止堵塞技术
