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  • 简介:陈大鹏,中国科学院(以下简称中科院)微电子所研究员,博导,先后参与或者主持过多项国家集成电路重大专项、国家自然基金、863计划、973计划、科技攻关等课题;主要从事集成电路制造工艺技术研究,微细加工技术研究,MEMS技术研究.曾获得中组部首批科技创新创业领军人才(万人计划)支持和国务院专家津贴,2014年获得中科院杰出成就奖,现任中科院微电子研究所(以下简称微电子所)副所长兼任中科院物联网研究发展中心副主任.

  • 标签: 中国科学院 电子研究所 集成电路 所长 制造工艺技术 微细加工技术