简介：基于角锥互注入锁相相干合成方案，利用光纤Bragg光栅（R=85％@1064nm）作为两路光纤激光器的共用腔镜，实现了两路光纤激光器相关联，进一步提高了激光的互注入能量。采用外腔结构，较容易实现了两路光纤激光器的能量互注入锁相。在实验上观察到了远场清晰稳定的干涉条纹（可见度超过0．8），获得了功率合成效率约为80％的线偏振相干激光输出。
简介：光刻空间像仿真作为各种计算光刻技术的基础,受到越来越多的重视。提出一种基于互强度傅里叶分析的光刻机投影成像快速模拟方法,从光刻成像互强度传播过程入手,基于傅里叶光学原理对成像要素进行多次空域-频域变换,得到一种快捷的空间像模拟途径。通过与标准解析空间像对比,发现该方法的计算精度可达10-4(最大光强归一化)。该方法避免了部分相干成像的Hopkins方程中繁琐的积分运算,操作性强、计算精度高。该方法适用于各种灵活多变的曝光成像条件,具备广阔的工程应用前景。
两路关联光纤激光器互注入锁相实验
基于互强度傅里叶分析的光刻机成像模拟方法
