简介:O4382000031768全息空间滤波器=Holographicspatialfilters[刊,中]/章鹤龄,张光勇,卢明(首都师范大学物理系.北京(100037))//光子学报.—1999,28(Z1).—71-74论述了传统空间滤波器若干不足之处;阐述了用厚膜透射体积全息图实现空间滤波原理;提出了一套行之有效的厚膜位相型记录介质制备工艺及全息空间滤波器制作方法,实验证明效果良好。图5参3(李士范)O4382000031769纯相位二值化匹配滤波器的优化设计=Optimizeddesignofbinaryphase-onlymatchedfiltersandtheiropticalimplementation[刊,中]/李豫华,
简介:TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限