简介:高精度坐标测量机单轴测量不确定度U95一般约为0.6μm,加上导轨直线度误差,则坐标测量机对平行度、平面度测量的扩展不确定度U95约在1μm。等厚干涉仪可解决高精度的平面度测量问题(如平晶的检定),但平行度却缺乏更高精度的测量方法,并且当测量须针对零件端面上的特定点位时,等厚干涉仪也无能为力。而在高精度圆度仪上,不需改动任何硬件和软件可以解决上述问题。圆度仪对圆端面平面度和平行度的测量是可通过工作台主轴旋转的圆周运动和横臂带动测头的径向运动来实现,测量数据点位呈几个同心圆分布。由于为了实现圆度仪上的多圈采点测量,必须在工件端面径向移动测头,这就将圆度仪横臂导轨的直线度和相对于主轴的不垂直度带入了平面度和平行度的测量中,使得这两项误差直接影响到最终的测量结果,因此必须加以修正。
简介:为了测量中红外激光远场光斑,采用光电探测器阵列法研制了一套探测系统。主要包括激光功率衰减装置、中红外光导型HgCdTe探测器阵列、信号调理电路、模数转换单元、ADuC842微控制器和RS.232接口。设计了中红外光电探测器阵列和相应的信号放大电路,设计了ADuC842的外设接口和数据采集程序。测量系统在实验中得到了应用,给出了实验中典型的波形和单帧光斑。光斑测量系统的空间分辨力为1cm,光斑数据刷新频率为8Hz。