半导体光学材料及制备

在线阅读 下载PDF 导出详情
摘要 O47296032017ZnO/SnO2双层膜的结构及敏感特性研究=Astudyonstructureandgas-sensitivecharacterofZnO/SnO2bilayerfilm[刊,中]/娄向东(河南师范大学化学系.河南,新乡(453002)),沈荷生,沈瑜生(中国科技大学材料科学与工程系.安徽,合肥(230026))//传感技术学报.-1995,(2).-20-23将SnO2及ZnO粉末压制成靶材,采用溅射法制备了ZnO/SnO2双层薄膜,用XPS,XRD、SEM等手段对制得的薄膜进行分析测试,发现双层膜表面有一定量的吸附氧存在,双层膜中锌、锡有一定的相互扩散,比较了单层SnO2及ZnO膜与双层膜的气敏特性,结
作者
机构地区 不详
出处 《中国光学》 1996年3期
出版日期 1996年03月13日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
  • 相关文献