采用硬件解调法的边缘轮廓检测及其误差补偿(英)

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摘要 提出一种基于硬件解调的二维轮廓检测方法.滤波环节和微分环节由硬件电路实现,使测量分辨力达到亚像素级.该方法使边缘轮廓的检测更为简单,且提高了测量速度.还给出了这种测量的正确标定方式.通过实验找出该方法所存在的解调误差和误差修正表,经误差补偿,边缘轮廓的测量精度达到2μm(3б).
机构地区 不详
出版日期 1999年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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