提出一种基于硬件解调的二维轮廓检测方法．滤波环节和微分环节由硬件电路实现，使测量分辨力达到亚像素级．该方法使边缘轮廓的检测更为简单，且提高了测量速度．还给出了这种测量的正确标定方式．通过实验找出该方法所存在的解调误差和误差修正表，经误差补偿，边缘轮廓的测量精度达到2μm（3б）．
天津大学学报：英文版
1999年1期
