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洛阳中硅2000吨级多晶硅示范项目通过验收

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DOI g4qnk51748/1563972

作者刘广荣

机构地区不详

出处《半导体信息》 2010年1期

关键词中国电子报多晶硅生产自主知识产权提纯技术验收报告电子级

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2010年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

半导体信息

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