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微机电系统多场耦合仿真分析

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摘要在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中，微系统数值仿真分析是一个重要研究领域．本文对MEMS中多种能量场耦合问题的各种数值仿真分析方法进行了综合评述．分析了该领域目前的研究现状并指出了其今后的发展方向。

DOI 8rdxr609dl/260449

作者高行山;赵亚溥;吕胜利;邓子辰

机构地区不详

出处《动力学与控制学报》 2004年1期

关键词微电子机械系统能量场耦合计算机辅助设计 MEMS 建模仿真分析

分类 [自动化与计算机技术][控制理论与控制工程]

出版日期 2004年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

动力学与控制学报

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