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抛光机转速比对蓝宝石衬底抛光后形貌的影响

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摘要摘要宝石（Sapphire）是一种氧化铝（α-Al2O3）的单晶，又称为刚玉。蓝宝石单晶具有熔点高(2040℃)，硬度高(莫氏硬度9)，化学性能稳定，电绝缘性好，具有良好的热特性、极好的电气特性和介电特性，特别是具有优良的红外透过率等特性。在半导体领域中，主要是使用蓝宝石作为制备GaN薄膜的衬底，它与GaN之间的晶格常数失配率小，是目前最主要的GaN外延基片材料之一。

DOI pj035n3vjy/4318599

作者赵伟

机构地区赵伟

出处《防护工程》 2018年14期

关键词蓝宝石衬底化学机械抛光纳米级转速

分类 [文化科学][]

出版日期 2018年12月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

防护工程

2018年14期

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