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电阻率测量技术研究

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摘要通过对测量半导体样品电阻率的四探针法的介绍，详细讨论了常规四探针法、双电测四探针法和范德堡法的测量方法．并给出了相应计算电阻率的公式和直排四探针法厚度修正公式，同时也对图像识别技术和电阻抗成像技术在电阻率测量中的应用进行了展望。

DOI 7dm6591ojn/566330

作者谢莉莉;汪鹏

机构地区不详

出处《高等职业教育：天津职业大学学报》 2007年5期

关键词电阻率四探针法范德堡法图像识别电阻抗成像技术

分类 [文化科学][职业技术教育学]

出版日期 2007年05月15日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

高等职业教育：天津职业大学学报

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