首页
期刊中心
期刊检索
论文检索
行业资讯
期刊
期刊
论文
首页
>
《城镇建设》
>
2023年4期
>
关于半导体厂房净化空调系统设计与应用思考
关于半导体厂房净化空调系统设计与应用思考
打印
分享
在线阅读
下载PDF
导出详情
摘要
摘要:电子工业是我国经济进步不可缺少的一个重要支撑力量,而半导体芯片制造业是电子工业进步的前提及基础。芯片的各种性能的好坏,与工艺设计的科学性、严谨性等有很大的关系,而芯片的可靠性,则与加工制造条件与环境的洁净程度、各类原材料的纯度有很大的关系。尤其是在现阶段,纳米技术得到了快速的发展,使得超净条件与环境、超纯原材料等成为半导体工业得到创新的根本。基于此,本文对半导体厂房净化空调系统设计与应用进行探讨。
DOI
2d305myld9/7277767
作者
田锋
机构地区
中国电子系统工程第二建设有限公司,江苏 无锡 214100
出处
《城镇建设》
2023年4期
关键词
半导体厂房
净化空调系统
设计与应用
分类
[建筑科学][市政工程]
出版日期
2023年06月19日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
相关文献
1
蒋磊.
半导体厂房净化空调系统设计与应用研究
.建筑设计及理论,2024-06.
2
王小青.
某电子半导体洁净厂房空调系统设计简介
.,2022-07.
3
冯晓娜.
半导体厂房洁净空调系统要点分析
.文化科学,2018-04.
4
邓琳.
某半导体洁净厂房空调系统的设计——以上海某半导体研发厂房改扩建项目为例
.文化科学,2023-04.
5
王加品.
高精度半导体厂房暖通空调系统浅析
.建筑理论,2023-09.
6
潘海晨.
半导体厂房洁净空调系统要点分析潘海晨
.文化科学,2018-04.
7
倪骁.
新能源汽车半导体空调辅助系统设计
.,2023-04.
8
付永学.
医药厂房净化空调系统的节能设计与应用
.建筑科学,2024-09.
9
张李楠.
洁净厂房净化空调系统设计问题探讨
.建筑设计及理论,2018-12.
10
雷龙.
医药厂房净化空调系统设计与优化研究
.,2024-07.
来源期刊
城镇建设
2023年4期
相关推荐
浅谈半导体厂房气体侦测系统与消防系统误区
某半导体厂房能耗分析
医药洁净厂房净化空调自控系统应用
半导体厂房项目总平面设计思路
浅析半导体集成电路芯片厂房设计
同分类资源
更多
[市政工程]
集中供热二次管网失水问题分析及解决措施
[市政工程]
公路工程道桥施工中预应力施工技术的研究
[市政工程]
数字化技术在钢结构桥梁工程中的应用探讨
[市政工程]
相变储能保温隔热砂浆的研究与应用
[市政工程]
路桥过渡段路基路面施工与病害防治路径
相关关键词
半导体厂房
净化空调系统
设计与应用
返回顶部