关于半导体厂房净化空调系统设计与应用思考

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摘要 摘要:电子工业是我国经济进步不可缺少的一个重要支撑力量,而半导体芯片制造业是电子工业进步的前提及基础。芯片的各种性能的好坏,与工艺设计的科学性、严谨性等有很大的关系,而芯片的可靠性,则与加工制造条件与环境的洁净程度、各类原材料的纯度有很大的关系。尤其是在现阶段,纳米技术得到了快速的发展,使得超净条件与环境、超纯原材料等成为半导体工业得到创新的根本。基于此,本文对半导体厂房净化空调系统设计与应用进行探讨。
作者 田锋
出处 《城镇建设》 2023年4期
出版日期 2023年06月19日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)