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某电子半导体洁净厂房空调系统设计简介

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摘要摘要：介绍某电子洁净厂房净化空调系统的设计，阐述了净化空调系统的形式及净化空调系统的控制原理。

DOI 2d3qzpplj9/6104791

作者王小青

机构地区四川三众建筑设计有限公司四川成都 610000

出处《家园·建筑与设计》 2022年5期

关键词电子洁净厂房净化空调设计自动控制

分类 [][]

出版日期 2022年07月08日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

家园·建筑与设计

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