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半导体工业洁净厂房电气设计的相关探讨

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DOI wjv513vr6d/8191426

作者葛亚洲

机构地区中国电子系统工程第二建设有限公司江苏省 214000

出处《中国科技人才》 2024年5期

关键词半导体工业电气设计供配电系统负荷等级

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2024年04月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国科技人才

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