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LPCVD制备多晶硅薄膜时外观出现白边问题分析与研究袁逸秀董忠吉胡春莲潘星宇

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摘要摘要：制备多晶硅薄膜时不但影响电池片外观，且严重的造成EL不良，降低了成品电池片的良率，影响电池片的转换效率，波及产品性能。本文主要分析产生白边的主要因素，通过试验加以工艺验证，最后提出解决白边的有效办法，达到降本增效，进而提升客户满意度。

DOI rj8vyg0294/8636458

作者国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司西宁分公司青海西宁 810000

机构地区不详

出处《中国科技信息》 2024年12期

关键词多晶硅薄膜外观白边成因解决措施

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2024年09月09日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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多晶硅薄膜外观白边成因解决措施

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