6英寸区熔单晶硅炉实现国产化

(整期优先)网络出版时间:2012-05-15
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9月下旬,北京京运通科技股份有限公司成功开发出6英寸区熔单晶炉设备。采用该国产设备已连续成功拉制出6英寸区熔单晶。