半导体芯片（集成电路）是信息产业的基础，也是一国或地区科技竞争力的象征。目前全球大多数芯片制造企业一般处于90／65纳米的技术工艺水平。而中芯国际65纳米的产品销量已经实现近1亿美元收入；45纳米产品工艺已经完成了完整的工艺流程研发并通过了国际主流客户的验证，年末有望量产；32纳米产品工艺已经开始了实质性的研发工作，其中关键工艺已在少量芯片上得到验证。
纳米科技
2011年3期
