简介：摘要：针对电子元器件封测设备对晶圆识别与定位功能的兼容性需求，设计一套基于视觉伺服的晶圆自适应识别与定位共性平台，该平台机器视觉与运动控制在结构上融合在一起。基于平台开展基于视觉伺服的晶圆自适应识别与定位技术研究，形成共性技术支撑。
基于视觉伺服的晶圆自适应识别与定位研究
