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Rapidly Synthesis of Nanocrystalline Diamond Films by Helicon Wave Plasma

作者： Jun Yu;Tianyuan Huang;Peiyu Ji;Chenggang Jin;Lanjian Zhuge;Xuemei Wu
学科：一般工业技术 > 材料科学与工程
创建时间：2016-02-12
出处：《功能材料信息》 2016年第2期

简介：AnewtechniqueofthesynthesisofNanocrystallineDiamond(NCD)Filmsbyheliconwaveplasma(HWP)chemicalvapordepositionatroomtemperaturewasreported.ThegrowthmorphologyandtheroughnessofNCDsampleswascharacterizedusingfiledemissionscanningelectronmicroscopy(SEM-SU8010)andatomforcemicroscopy(AFM),respectively.Theresultsshowthegrowthrateofthefilmwasveryfast,about833nm/min.TypicalG,Dbands
标签：英语阅读理解纳米材料与技术

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