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Strip-loaded waveguide-based optical phase shifter for high-efficiency silicon optical modulators

作者： Yuriko Maegami;Guangwei Cong;Morifumi Ohno;Makoto Okano;Koji Yamada
学科：理学 > 物理
创建时间：2016-06-16
出处：《光子学研究：英文版》 2016年第6期

简介：Weproposeanovelsiliconopticalphaseshifterstructurebasedonheterogeneousstrip-loadedwaveguidesonaphotonicsilicononinsulator(SOI)platform.ThefeaturesofanetchlessSOIlayerandloadedstripwouldenhancetheperformanceanduniformityofsiliconopticalmodulatorsonalarge-scalewafer.WeimplementedthephaseshifterbyloadinganamorphoussiliconstripontoanSOIlayerwithaverticalPNdiodestructure.ComparedtotheconventionallateralPNphaseshifterbasedonhalf-etchedribwaveguides,thisphaseshiftershowsa>1.5timesenhancementofmodulationefficiencyandprovides>20GHzhigh-speedoperation.
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