简介:等离子技术在印制电路领域已经广泛应用。主要应用于清洁、除胶、活化和凹蚀,其中除胶应用最广泛。文章首先在理解等离子蚀刻机理的基础上,对等离子蚀刻均匀性进行了研究,研究结果显示:影响等离子蚀刻均匀性的主要因素有边际效应、流量效应和周边气体效应,三者使等离子蚀刻呈“W型分布”。文章对“W型分布”机理进行了理论解释,并利用“W型分布”理论对等离子设备腔体的挡板及装板方式进行了优化。改善后等离子蚀刻均匀性由62.7%提升到了89.7%。文章还对等离子去钻污参数进行了研究。通过优化去钻污参数,等离子层间分离报废由23.9m^2/月降至0.49m^2/月,改善效果明显。
简介:近日,省科技厅、省财政厅联合下发《广东省重大科技成果产业化基金实施方案》。根据方案,省拟安排50亿元重大科技成果产业基金扶持科技型企业发展。方案明确,发挥财政科技资金对创新驱动的扶持引导作用,对具有国内自主知识产权和国际先进水平的重大科研创新成果产业化进行投资,争取将50亿元的省重大科技产业化基金通过母子基金架构引导放大至500亿元,带动超过1500亿元的社会资金自投入科技成果产业化,力争形成60~200支子基金,投资300~2000家科技型企业,推动50~200家科技型企业在新三板、创业板、中小板等多层次资本市场进行IPO。