简介:对比了ICP刻蚀和湿法腐蚀制备台面型InP/InGaAs雪崩光电二极管(APD)时侧壁、表面形貌的不同,以及对暗电流和击穿电压的影响。在Cl2/Ar2/CH4条件下感应耦合等离子体(ICP)刻蚀InP会出现表面粗糙,对其原因进行了探究。并主要对ICP的刻蚀时间和刻蚀功率进行了优化,提高刻蚀表面的温度,保证了刻蚀的稳定性并改善了InP刻蚀表面的形貌,确定了稳定制备APD器件的刻蚀条件,最终制备出性能优良的台面型APD器件。
简介:目前数控车削回转曲面的加工及检测需要由三坐标测量机多次检测来实现,而一般机械加工车间的数控车削设备与三坐标测量机常常是多对一的配置关系,易造成待检产品在三坐标测量机处积压,消耗过多无效时间,影响产品的制作周期。另外,产品检测需从机床上卸下,检测后需重新找正装夹,这样即延长了加工的辅助时间,又增加了误差的可能性。针对此现状本项研究的目的是将三坐标的检测原理应用到数控车床上,利用机床自身的坐标系统进行数据采样,在加工误差于允许的范围内,在不进行重复装夹的前提下完成数控车削回转曲面的现场检测。具体方案为接触式检测法,该方法采用不带压力或位移传感器的机械式球形测头进行数据采用,测头表面与工件表面的接触状况用弱电流电路通过发光二极管显示,