简介:摘要:晶圆湿法清洗工艺是芯片制造中占比最大的关键工艺,晶圆干燥则是湿法清洗工艺中最后且最为关键的一环。干燥的目的是去除晶圆表面的残留液体,保证晶圆表面最终的洁净度。基于机械设计理论及Marangoni效应,设计研究了一种大尺寸晶圆Marangoni干燥系统,详细介绍了系统的工作原理、工作流程及其结构组成。经过实验验证,该系统能够很好的满足大尺寸及超薄晶圆的干燥要求。
简介:摘要:以色列K项目尾水隧洞设计为正圆形,隧洞混凝土采用2台全圆针梁整体钢模台车衬砌,2台钢模台车从上下游开始相向衬砌施工,在2#施工支洞处衬砌结束,并在2#支洞处对2台钢模台车进行拆除。1#台车拆除时利用最后预留的未衬砌隧洞部分空间进行拆除,2#台车拆除时隧洞已全部衬砌结束,模板与混凝土表面之间的距离约15cm,空间非常狭小,大型起吊设备没有作业空间。通过利用钢模台车自身结构作为起吊点,手拉葫芦为起吊工具,把台车分片分块下放到隧洞底板上,铺设运物轨道,利用2#支洞预留的检修孔把拆解的台车部件运到隧洞外,再装车运到指定存放地点,实现了钢模台车快速拆除,达到了预期的效果。
简介:摘要:在半导体集成电路生产制作过程中,晶圆传递机械臂是不可缺少的重要组成部分,为了使其整体控制精度和运行稳定性达到最大化,进而更好地提升半导体集成电路的生产质量,关键任务就是要将PLC控制技术作为晶圆传递机械臂的核心控制系统。本文也会根据半导体集成电路生产制作要求,提出一种晶圆机械手PLC控制系统,并对其整体设计与功能调试要点展开着重分析,以便为相关人士提供参考。
简介:摘要随着我国社会经济的迅速发展,人们生活质量取得了很大的提升,城市建设过程中社会更加关注建筑安全性和环保性是否达到。电梯作为建筑修建中的重要组成部分,其封闭性和高速运行管理要求对电梯安装来说至关重要,保障电梯在运行过程中的使用安全,不仅是对使用者负责,更是有利于企业经济效益和社会效益的提高。从电梯运行和测试的过程来看,电梯共振问题是影响电梯有效使用的最大问题,也是电梯在运行和发展中的大问题,需要引起相关部门的重视并给予及时的解决。笔者在有效研究现阶段电梯使用情况看,在本文中专门阐述电梯运行中的共振的主要原因以及控制措施,希望能够在一定程度上减少问题的再次发生。