简介:
简介:摘要本文研究表面“绿雾”缺陷外延片的成因,发现“绿雾”片与正常片对比金属杂质含量无差异,粗糙度方面“绿雾”片要更大一些。通过外延工艺试验发现衬底与外延界面不同是造成“绿雾”的原因,“绿雾”缺陷可通过衬底RAC清洗,或外延前氢气高温加热来对界面进行处理,进而消除。最终通过杜绝“绿雾”片产生,提高了外延成品率,降低了成本。
简介:摘 要:本文分析了硅外延片量产过程中发现的一种胞状结构微观缺陷——乳突缺陷的测试方法。与外延片常见缺陷不同,作为硅外延晶格体缺陷中的不均一性畸变,该缺陷具有表征检测信号弱和生产环境中不易检测的特点。本文针对乳突缺陷在生产检测阶段极易漏报的特征,通过微缺陷数据分析,结合扫描表面检查法(SSIS),研究通过排除延伸光散射体(XLS)和边缘无效测试区信号干扰的检测方法,使硅外延乳突缺陷的无损批量检测具备了可行性。
简介:沙弗拉尼:平行线的故事星期三早上,一位戴着夹鼻眼镜的男子推门走进新教公墓的管理办公室。他拎着一个宽大的提包和一只书柜似的手提匣,内衬丝绒,上有提柄。匣子拎在左手,玻璃门冲外,所以墓地管理员看见匣子里是空的。
简介:摘要:外延层厚度是外延工艺关键技术参数,其测量结果的真实性对外延生产工艺具有指导意义。外延层厚度通过红外测厚仪进行测量。通过对厚度测试结果进行不确定度的评定,根据评定结果满足生产工艺要求,对外延生产工艺情况判定提供依据。
简介:摘要:
简介:这样的节日之夜聂鲁达式的孤独退避三舍一些妙喻可以成立比如蓄一季洪水成湖命名为城市的斑马,或者乡愁的巴茅比如贴着夜色与湖水飞翔的水鸟被诗人说成是苍茫大海的海燕
简介:摘要:随着电子设备和能源领域对高性能、高稳定性材料需求的增加,新型基板材料对硅外延和碳化硅外延薄膜质量的影响备受关注。传统基板材料,极端工作条件下的表现不尽如人意。寻求更为优越的基板材料以优化外延薄膜的质量成为当前研究的重要方向之一。
简介:由大连路明集团和美国LUMEIOPTOELECTRONICSCORPORATION共同投资7800万美元成立的大连美明外延片公司,近日在大连国家半导体照明工程产业化基地开工建设。
简介:本文通过一个活塞异型销孔的设计实例,详细介绍了应用DOE方法进行异型销孔参数确定的设计思路。其中试验结果是通过有限元分析获得的,并使用Minitab软件进行了结果分析,确定了设计参数。
简介:高剂量X射线粉末衍射测试说明升高温度有利于γ-Al2O3/Si外延生长,单晶衍射法证明应用低压CVD和高真空外延技术在我们的实验室生长出γ-Al2O3/Siuj单晶薄膜。它们的结晶关系是(100)γ-Al2O3//Si,[010]γ-Al2O3//[010]Si。
简介:"APEC蓝",短暂而美好。本届APEC之后,雾霾卷土重来,几度"锁"住京城,规律依旧——"无风就有霾"。APEC期间,人努力,天帮忙。即便天气预报所言——"11月8日至11日,受不利天气条件影响,北京将有重度雾霾","APEC蓝",依然穿越迷障,让碧空如洗。雾霾可以治理,这一点,毋庸置疑。从2008年的"奥运蓝天"到今年的"APEC蓝",向我们昭示了集中力量办大事的伟
简介:摘要:以点牵引到面,以有限的课内扩展到无限的课外,课内外阅读相结合,广泛阅读是提升学生语文知识积累,升华学生人文素养的重要途径。因此,笔者根据自身教学经验和实践,对如何做好从课内阅读引导学生到课外阅读的方法进行相关阐述,以供读者参考。
简介:帮闲.即帮受众提高休闲质量。多年来.我们的报纸在“帮忙”的红海中拼命厮杀,为什么不考虑亟待开发的“帮闲”呢?帮闲有四条基本途径:一是提供休闲信息。二是进行休闲引导。休闲信息是关于“是什么”的报道.休闲引导是关于“应该是什么”的报道。首先.引导休闲意识.其次.引导休闲行为。三是创造休闲体验。把休闲落实到体验.报纸就是休闲纸.或者说.报纸从来就有“消闲性”——这是我们强调新闻性、实用性时往往忽略的。
简介:德国欧司朗公司(OSRAM)光电半导体研发人员地制造出高性能蓝白光LED原型硅芯片,氮化镓发光材料层被置于直径为150mm硅晶圆基板上。这是首次成功利用硅晶圆基板取代蓝宝石基板制作LED芯片,并保持了相同的照明质量和效率。目前,该款LED芯片已经进入试点阶段,在实际条件下接受测试。欧司朗公司表示首批硅晶圆LED芯片有望在两年内投放市场。
简介:样品经高温灼烧除碳,碳酸钠一硼酸熔融,盐酸酸化,以动物胶重量一钼蓝光度法测定总硅量,该方法精密度和准确性能满足日常检测需要。
简介:金风玉露一相逢,便胜却人间无数。此语用来形容如今的移动电子商务,是再合适不过了:最能吸引互联网风投的“金风”是电子商务,能带给用户最舒适、美好的使用体验的“玉露”是移动互联网,当两者紧密融合,
简介:[摘要]
硅外延片表面“蓝雾”原因分析及研究
硅外延片表面“绿雾”缺陷研究及解决方案
浅谈硅外延片乳突缺陷的一种无损检测方法
蓝雾
硅外延片厚度测量结果的不确定度评定
平板式多片硅外延炉,炉内片间厚度一致性研究
一江蓝雾(组诗)
硅外延石墨基座浅黄色物质成因及降低基座腐蚀的方法
硅外延掺杂电阻率均匀性控制研究
新型基板材料对硅外延和碳化硅外延薄膜质量的影响分析
中美合资生产半导体外延片
使用DOE方法进行活塞异型销孔设计
硅上异质外延氧化铝的X射线测试分析
雾霾可治 但要有决心——“APEC蓝”过后的思考
浅谈课内阅读外延的方法
帮闲:开报业竞争一片蓝海
德国欧司朗公司开发出高性能蓝白光LED原型硅芯片
碳硅球中硅元素测定方法的研究
移动电子商务:一片新兴蓝海
探索DOE快速推广的运行模式