简介:提出了一种亚微米深度的纯位相型玻璃衍射光栅制作工艺,采用光刻制栅方法对要制作的光栅结构进行了分析;用AUTOCAD绘图软件绘制光栅的排列布局以及MATLAB软件对设计出的图案进行衍射图样模拟,在基于数字微镜的光刻机上进行曝光,由涂覆光刻胶的铬玻璃上得到缩微图案;观察了单色激光的夫琅禾费光栅衍射图样,以确定最终的设计图案;用电子束刻蚀方法得到的铬掩膜板进行常规光刻工艺处理,得到纯位相型的衍射光栅,最后通过对衍射光栅的衍射图案的失效性分析确定最佳的光刻工艺。结果表明:利用光刻制栅方法不仅可以在玻璃上制得纯位相型光栅,同样也可以在硅片、金属等其他基底上制得光栅或其他光学重复单元,方法可行,且材料成本不高。
简介:O436.197020779泰伯衍射光场的三维分布特征=Characteristicsofthree-dimensionaldistributionofTalbotdiffractionfield[刊,中]/谭松新,苏显渝(四川大学光电系.四川,成都(610064))//光电工程.-1996,23(2).-34-41采用菲涅尔近似公式和傅里叶级数展开的方法,分析了罗奇光栅、正弦强度光栅、正弦振幅光栅的泰伯衍射光场的三维强度分布特征,给出了计算机模拟的三维强度分布图,并讨论了一些在三维传感领域有应用前景的性质。图7参12(吴淑珍)
简介:O436.197052875二元光学元件衍射效率的逐层分析法研究=Studyofdiffractionefficiencyofbinaryopticalelementswithlayerbylayeranalysismethod[刊,中]/叶钧,许乔,侯西云,杨国光(浙江大学高技术现代光学中心,浙江,杭州(310027))∥光学学报.—1996,16(10).—1350—1355提出了一种有效的分析二元光学元件衍射效率的新方法—逐层分析法,并对四台阶二元器件,就蚀刻深度误差和横向对准误差对器件衍射效率的影响进行了分析和讨论,证明用该方法分析含有横向对准误差的二元光学元件的横向衍射效率非常简便有效。图4
简介:摘要:光是自然界中的一个重要现象,我们的眼睛之所以可以看到自然界中的各种景象,都是因为我们的眼界可以接收到自然界中的各种物体反射的光,所以说光和人类的生活有着很紧密的联系。而光学实验也是高中物理实验中一个重要的实验,其中,光的干涉和衍射也是光学中的一个最基本的主题。从根本上面来说,光的干涉和衍射都是光波的相干迭加的结果。所以它们在原则上是没有区别的。但是它们二者所强调的侧重点是不一样的,光的干涉产生的是干涉条纹,强调光的直线传播,而光的衍射产生的是衍射条纹,强调光的非直线传播。运用matlab仿真模拟光的双缝干涉,单缝夫琅禾费衍射,双缝衍射和衍射光栅。在以后的光学教学中,也可以通过仿真模拟实验,方便学生掌握光的干涉与衍射的特点。