简介:摘要:在摩尔定律的指引下,半导体产业每两至三年就会跨越一个新的台阶。半导体生产芯片产生的高昂的分摊成本,加上同行业及相关产业的激烈竞争,使得大部分芯片生产厂扩大规模量产,并要求产品良率大幅提升。维持及提升良品率需要高水平的、稳定的工艺技术支撑。优质的芯片产品需要在工艺过程中减少产品缺陷的数量,提高芯片可靠性。根据调查研究发现,产品大部分缺陷是在光刻工艺过程中造成的。光刻工艺基本由涂胶工艺、显影工艺、曝光工艺组成。本文主要选取涂胶工艺过程中,纳米级缺陷—表面涂覆薄膜色差缺陷的产生及改善方法,探究了薄膜色差产生的原因,研究了改善或消除表面薄膜色差的方法,通过实验找到了可行的解决办法,减少了返工率及废品率,提高了生产效率。
简介:【摘要】一区喂丝房采用GARBUIO的移动式多功能翻箱机设备翻箱入柜进行喂丝。喂丝房的烟丝采用箱式存储和生产,在烟丝经过制丝装箱机装箱、输送和翻箱机翻箱后,空烟丝箱的箱盖表面和箱体四周横杆会存有少量烟丝烟尘,ABB清扫机器人只能清扫干净烟箱内部,存在一定的不确定因素:在空烟箱清扫时,箱盖上的残留烟丝烟尘可能会引起清扫设备故障、箱盖残留烟丝烟尘会对烟丝质量造成影响、存在虫情隐患等。因此需要研制一种自动清扫装置,能够在进入空烟箱清扫环节之前对箱盖和箱体四周横杆进行吹扫,保证设备正常运行和消除虫情隐患。
简介:摘要:变截面连续箱梁是目前我国公路上跨河流、山坳或公路及市政道路时比较常见的梁式桥型式,而挂篮悬臂法浇筑及支架法浇筑是该种桥梁上部结构比较常见的施工方法。本文结合温州某公路35+60+35m变截面连续箱梁为工程实例,利用桥梁博士V4.4.1有限元分析软件对桥梁结构进行分析技术,并结合设计难度、结构经济成本、施工成本、施工周期及施工影响等方面进行分析对比,为类似桥梁的设计提供经验。
简介:【摘 要】环形梁厂箱梁预制施工技术在我国高速公路施工中已得到大力推广应用,本文以清远清新至广州花都高速公路TJ6标段环形梁场施工为依托,从厂区布局、生产线配置选型、施工工艺和质量控制方法等方面展开了研究,通过工程实践验证形成了一整套环形梁场施工技术,为高质高效的完成施工任务提供了技术支持,同时为今后类似工程提供参考。
简介:摘要:本文主要介绍了密涿高速Q1标段特大桥第二联钢箱梁顶推施工工艺与第五联钢箱梁吊装施工工艺。随着钢箱梁施工技术的不断发展,从多多罗桥到苏通大桥,从杭州湾跨海大桥到西堠门大桥,钢箱梁得到了越来越广泛的应用。顶推法钢箱梁具有良好的抗弯及抗扭能力,安装简便,操作精度较高,结构新颖,外形简洁,美观。