简介:摘要:在摩尔定律的指引下,半导体产业每两至三年就会跨越一个新的台阶。半导体生产芯片产生的高昂的分摊成本,加上同行业及相关产业的激烈竞争,使得大部分芯片生产厂扩大规模量产,并要求产品良率大幅提升。维持及提升良品率需要高水平的、稳定的工艺技术支撑。优质的芯片产品需要在工艺过程中减少产品缺陷的数量,提高芯片可靠性。根据调查研究发现,产品大部分缺陷是在光刻工艺过程中造成的。光刻工艺基本由涂胶工艺、显影工艺、曝光工艺组成。本文主要选取涂胶工艺过程中,纳米级缺陷—表面涂覆薄膜色差缺陷的产生及改善方法,探究了薄膜色差产生的原因,研究了改善或消除表面薄膜色差的方法,通过实验找到了可行的解决办法,减少了返工率及废品率,提高了生产效率。
简介:LED光源光谱只含有可见光成分,相比传统光源能够减少光照对文物的损伤,是目前博物馆展陈照明光源最佳产品。但对于一些光敏文物,长期可见光辐照同样会对其产生不可逆的影响。文章以染色丝绸这一类典型光敏文物为研究对象,通过制作不同颜色的常见植物染料染色丝绸样品,设计模拟照明展览实验系统,利用不同光谱LED光源对样品进行高强度连续光照并测量样品表面色彩属性,计算样品的色差变化以分析不同光谱LED光源长期光照对丝绸文物的影响。结果表明:单色光对染色丝绸老化的影响按波长递增,影响递减;高色温对文物的影响强于低色温;不同光谱的LED对黄檗和槐米的老化影响均较大。本研究对更合理地将LED光源应用于丝绸类的博物馆照明以及未来博物馆照明环境的改善均有重要指导意义。