简介：基于角锥互注入锁相相干合成方案，利用光纤Bragg光栅（R=85％@1064nm）作为两路光纤激光器的共用腔镜，实现了两路光纤激光器相关联，进一步提高了激光的互注入能量。采用外腔结构，较容易实现了两路光纤激光器的能量互注入锁相。在实验上观察到了远场清晰稳定的干涉条纹（可见度超过0．8），获得了功率合成效率约为80％的线偏振相干激光输出。
简介：采用灰度共生矩阵对不同加工工艺形成的非平面工件表面粗糙度进行了研究。讨论了灰度共生矩阵中二阶矩、对比度、相关值，熵等与图像纹理特性的关系，构建了实验装置，并利用Matlab软件对采集的激光散斑图像进行了处理，得到了共生矩阵的4个特征参数随表面粗糙度的变化曲线。为研究非平面工件的粗糙度，提供了一种新的技术途径。
简介：光刻空间像仿真作为各种计算光刻技术的基础,受到越来越多的重视。提出一种基于互强度傅里叶分析的光刻机投影成像快速模拟方法,从光刻成像互强度传播过程入手,基于傅里叶光学原理对成像要素进行多次空域-频域变换,得到一种快捷的空间像模拟途径。通过与标准解析空间像对比,发现该方法的计算精度可达10-4(最大光强归一化)。该方法避免了部分相干成像的Hopkins方程中繁琐的积分运算,操作性强、计算精度高。该方法适用于各种灵活多变的曝光成像条件,具备广阔的工程应用前景。
两路关联光纤激光器互注入锁相实验
基于灰度共生矩阵的非平面表面粗糙度的图像纹理研究
基于互强度傅里叶分析的光刻机成像模拟方法
