简介:TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限
简介:随着社会的不断发展,人们开始意识到愈演愈烈的环境污染问题,因此绿色供应链的发展也逐渐受到关注.近年来,关于绿色供应链的研究越来越多,并且涉及众多领域,与此同时人们开始关注绿色供应链带来的风险.因此,当前绿色供应链急需解决的难题是如何帮助企业来分析、识别、预测供应链风险的因素,并将风险因素造成的损失控制在可承受范围内,保证其在企业内安全高效地运作并带来回报.文章在研究汽车绿色供应链管理的基础上,运用层次分析法,得到汽车绿色供应链风险评价体系,再通过模糊综合评判法对风险进行评估,从而进行有效的风险预防与控制.本文旨在为汽车绿色供应链的风险管理提供理论方法与策略支持,推动我国汽车绿色供应链的可持续发展.
简介:TJ765.32006065461提高泡沫云对红外/毫米波复合制导干扰效果的实用途径研究=AvenueofimprovinginterferenceeffectagainstIR/MMWguidancebyspecialfoamscrecn[刊,中]/金良安(海军大连舰艇学院航海系.辽宁,大连(116018)),战希臣…//红外与毫米波学报.—2006,25(3).—188-191为寻求提高特种泡沫云对IR/MMW复合制导干扰效果的实用途径,进行了专门的理论研究和实验分析。结果表明,在通常的毫米量级下,泡沫云中的气泡直径越小,对