简介:为了探究原子光刻中基片与会聚激光场间距对沉积纳米光栅质量的影响,我们基于VirtualLabFusion(VLF)平台实现了基片定位控制方案中光学系统的建模和仿真.结果显示:基片在切割会聚激光时将产生直边衍射图像,其轮廓形状和最大值都会随着基片切割激光截面区域大小的变化而变化:虚拟光电探测器上所得到的反射光强度值将随着基片-会聚激光间距的变化给出了倒置的高斯线型,其最低点出现在基片中心和会聚激光场轴线重合时的位置上.当会聚激光场截面恰好被基片阻挡一半时,探测处的强度值降至45.5%.这种光强随基片位置的变化情况为精确地定位基片位置提供了理论支撑.
简介:摘要近些年来,伴随着我国科学技术水平的高速提升,消弧线圈在我国配网系统中得到了极为广泛的应用。中性点经消弧线圈并联电阻接地是一种能有效抑制弧光过压的方法。通过对消弧线圈并联电阻在不同阻值情况下的仿真,得出电阻阻尼率对电网故障电压的影响,通过仿真实验,得出对故障相电压恢复的影响