简介:摘要IGSS是衡量VDMOS器件性能的一个重要参数,在生产过程中,有很多因素会影响IGSS。文中从VDMOS器件结构及工艺入手,通过电学性能测试分析及FA失效分析对一种特定区域的IGSS失效问题进行研究,发现是多晶刻蚀残留导致IGSS失效,并分析了多晶残留的原因,最终通过加入SF6,调整多晶刻蚀菜单解决了IGSS失效。
简介:内容摘要随着我国重工业经济的不断发展、科学技术的不断进步、现代化技术和自动化技术的深入发展,在各行各业中,对于现代化和自动化的需求越来越高。在此基础上,自动化设备被广泛的应用到机械加工业和制造业中,但是在自动化设备的应用过程中,如何保证自动化设备能够安全、稳定、可靠的运行成为了行业中需要考虑的问题。如果自动化设备不能安全稳定的运行。对于社会公众而言,将会是巨大的安全隐患。这种不可靠性不仅为工厂带来了巨大的经济损失,更有可能造成人身伤害。对此,本文将基于电气自动化控制设备的相关内容,对于其具体运行中的安全性与可靠性进行深入分析。