电子枪扫描控制技术

(整期优先)网络出版时间:2006-01-11
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开展了扫描控制工艺研究,找到了扫描稳定性控制工艺的基本要素,从膜料预熔、挡板打开前的预扫描、挡板打开后的扫描几个方面进行优化,改进了扫描工艺,有效提高了镀膜蒸发的稳定性。