简介：摘要：随着超精密加工技术的不断发展，环境微振动对加工精度的影响日益凸显，本文旨在深入探讨环境微振动下超精密加工设备的响应机制，为提高加工精度和设备稳定性提供理论依据。

简介：摘要：在现代机械工程领域，精密加工与超精密制造技术正以前所未有的速度发展和革新。这些技术的提升不仅推动了产品性能的优化，也对制造业的效率和精度带来了革命性的影响。本文将深入探讨精密加工与超精密制造技术的最新进展，以及它们在机械工程中的重要应用和未来发展趋势。

简介：摘要： “非常精密加工”作为一种极其精密的加工技术逐渐显现出来，这种加工的方法结合了极其精确的硅片切割，磨削和磨削加工，分析了硅片超精密加工的研究现状，并探讨了硅片的发展趋势。预测硅晶片的加工与未来的研究工作。

简介：摘要：超精密加工是处于发展中的跨学科综合技术。随着科技的发展，各个领域对零件的加工精度要求越来越高，传统的加工方法已满足不了需求，超精密加工依靠自动化技术可以达到纳米级的加工精度。本文就国内外超精密机床加工研究现状做了简单介绍，概述了超精密加工的关键技术以及影响超精密加工的环境因素，为超精密加工在各行业的应用提供理论参考。

简介：摘要：超精密加工是处于发展中的跨学科综合技术。随着科技的发展，各个领域对零件的加工精度要求越来越高，传统的加工方法已满足不了需求，超精密加工依靠自动化技术可以达到纳米级的加工精度。本文就国内外超精密机床加工研究现状做了简单介绍，概述了超精密加工的关键技术以及影响超精密加工的环境因素，为超精密加工在各行业的应用提供理论参考。

简介：摘要：超精密加工作为一种非常精密的加工技术正在逐渐兴起。这种加工方法结合了高精度硅片的切割、磨削。对硅片超精密加工的研究现状进行分析和讨论，预测硅晶圆工艺和未来的研究工作。

简介：摘要：随着数字数控机床和加工平台的产生与发展，机械零件的加工方式也向着大批量、专一化方向发展。导致对机械零件的需求也逐渐加大，零件的尺寸和表面加工质量是否符合标准使用要求是影响机械零件正常工作的关键，因此，对机械零件的光学超精密检测成为主要研究任务。机械零件表面的加工质量和尺寸大小虽然对零件的正常使用影响较低，但直接影响零件的可靠性、质量和使用寿命，而机械零件使用时间决定零件经济效益。随着光学超精密加工技术的不断发展，零件光学超精密加工检测技术已成为超精密加工迫在眉睫的关键难题。人工智能技术是一种新兴的用于模拟、延伸和扩展的智能理论、方法、技术及应用系统的一门新的技术科学。人工智能技术中的机械学习法，使机械零件的光学超精密检测过程大大简化，并将操作结果保存在存储器中，便于后续光学超精密检测过程的快速执行。

简介：摘要：超精密加工工件全自动刮削技术具有高效益高难度的特点。目前，我国精密加工设备对工件的加工精度要求越来越高，机床精加工后必须经过刮削工序，然而人工刮削效率已经远远无法满足精密加工工业需求。本文介绍了人工刮削特点的研究，自动刮削机理的分析，构建自动刮削系统的流程，以及自动刮削控制系统的PLC控制系统设计。为实现加工精度高、效率高的自动化刮削加工技术奠定研究基础。

简介：摘要微电子器件制造技术、微机电系统制造技术以及微光电子器件制造技术合称三微制造技术。目前与“三微”系统直接有关的航空背景型号主要有微小型无人机、超高速天空飞行器、四代机、微小型武器等。其中微机电系统及微机电器件是机载设备发展的主要方向之一。该技术可应用于飞机的灵巧结构、灵巧蒙皮、雷达、导航、控制、微型武器、微型燃气涡轮发动机等。微机电系统制造技术是发展微型飞机的核心技术，要发展微型飞机、加快机载设备的更新换代，就必须发展航空微机电系统制造技术，建立相应的研究开发基地，逐步形成航空微机电制造产业。

简介：摘要随着我国经济快速的发展，航空航天事业、微机械加工业、生物工程都得到了比较迅速的发展，这些行业在发展的过程中，精密微小零件有着十分重要的作用，由此，促进了精密微小零件加工的发展。在其不断发展的过程中，面临的要求也越来越高，为了满足要求，在零件加工中应用了超精密微机械制造技术。文章分析了机械加工的超精密技术发展现状，探讨了机械加工的超精密化和加工机械的微型化技术。

简介：摘要：在工业繁荣发展的过程中，工业领域发生了一场变革，主要集中在国防领域、航空领域、医疗领域以及电子领域，这些领域在变革的过程中，对精密微小零件的要求越来越高，为了充分的满足要求，在进行微小零件加工时，应用了微机械，由此也促使现代装备加工向着微小化的方向发展。超精密微机械制造技术作为有效的微小零件加工技术，在工业中得到了广泛的应用。文章分析了机械加工的超精密技术发展现状，探讨了机械加工的超精密化和加工机械的微型化技术。

简介：摘要：超精密切削加工是一种重要的微细加工方法，广泛应用于制造业中的高精度零部件生产。在超精密切削加工过程中，材料去除是实现高精度、高表面质量的关键步骤。随着材料科学和加工技术的不断进步，越来越多的研究都致力于探索和优化材料去除理论。

简介：摘要：超精密切削加工是一种重要的微细加工方法，广泛应用于制造业中的高精度零部件生产。在超精密切削加工过程中，材料去除是实现高精度、高表面质量的关键步骤。随着材料科学和加工技术的不断进步，越来越多的研究都致力于探索和优化材料去除理论。

简介：TN30597010636大规模集成电路刻蚀过程和终点的在线监测-等离子发射光谱法=Insitumonitoringetchprocessandend-pointforLSIbytheplasmaemis-

简介：TN30595021329相移掩模的计算机模拟方法研究[学,中]/沈锋;中科院光电技术研究所.—62页.—1994.6研究了亚微米微细光刻技术的一个热门领域—相移掩模提高分辨率.从Hopkins理论出发,导出了一般情况下的二维物体的部分相干成像的简化强度

简介：

简介：摘要当前我国机械制造业不断迅猛发展的同时，工业机械化的应用范围越来越广泛，且诸多领域的工业机械化应用程度越来越多，对国民经济建设发挥了巨大的推动作用。同时伴随着当前的社会发展以及经济发展趋势，各个领域对于机械加工的需求以及标准也必然会不断提高，其整体精密、高效的发展趋势越来越明显。对此，本文将以超精密机械加工为例，分析超精密机械加工在未来发展中的具体前景以及相关趋势。

简介：摘要：光学元件广泛应用于航空航天设备（雷达侦察）、卫星（先进光学望远镜系统、高分辨率电视摄像系统、高灵敏度红外传感系统）、激光制导、红外探测等领域，产品应用更加广泛。因此针对其超精密加工技术展开研究，可以有效提高光学零件的精密度。基于此，本文将针对光学零件展开概述，结合超精密加工技术原理，针对其展开研究，旨为相关人员提供参考帮助。

简介：摘要:随着人们生活水平的不断提高,人们对电视､手机､计算机､智能穿戴设备等电子产品的依赖越来越强,对电子产品的品质要求也越来越高｡显示屏作为电子产品使用过程中信息传递和反馈最重要的工具,其产品质量直接决定了用户的使用体验和产品的市场竞争力｡背光模组作为LED和LCD两主流显示技术的核心部件,其生产与制造技术的研究对提升屏幕显示质量与增强企业核心竞争力有巨大作用｡本文以背光模组的核心部件导光板的制造技术研究为背景,研究了导光板模具密集阵列微结构加工工艺及技术｡

简介：摘要当今，随着科学技术突飞猛进的发展，人们生活水平不断提高，人们对产品的加工尺寸、位置、形状和表面质量等的精度要求也在不断提升，传统的机械制造技术已经不能够满足这些要求，为了满足产品各项质量指标，精密加工技术的应用越来越广泛并不断的发展。文章首先探析了机械制造工艺与精密加工技术之间的联系，然后分别介绍了几种机械制造工艺与精密加工技术，旨在提高机械制造工艺水平，对我国的机械制造业起到指导作用。