简介:摘要:近年来,随着工业领域如微型机械制造、集成电路制造、生物医疗等众多领域的不断发展,与之相关的设备对精度的要求也越来越高。而被誉为半导体工业皇冠上明珠的光刻机,集合了高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、自动化、图像识别等多项顶尖技术,是超精密加工技术的集大成机器。其中,运动台系统用于定位晶圆做精细运动,主要包括搬移、掩膜、对位、焦距校准等,是光刻机最为核心的分系统之一。在光刻过程中,要求扫描和定位精度要达到纳米级,则需要同时追求运动指标和精度指标。因此,本论文针对光刻机运动台系统,从复合控制、同步控制以及主动减振控制三个角度进行控制方法的研究,以提升光刻机的曝光质量和产率。
简介:摘要:作为对代码设计经验的分析与汇总,设计模型也可重复使用。在日常产品设计工作中,随着经济社会的发展,对消费者也有了更多的产品设计要求。为更加符合消费者的实际需要,各种设计模型的产生已经很好地解决了这个问题。在开发设计软件以及相关程序的过程中,很有必要使它和现实工作情景相结合,并且必须全面考虑未来的技术发展需要,从而更好地将设计模型融合在当前的设计软件应用中。由于设计模型的使用范围非常广泛,并具有选择性地为人们进行服务,因此在未来的软件设计工作中,设计模型的使用也应该成为重要内容。本文概述了设计模型的概念和分类,简要介绍了几种设计模型,分析了设计模型的选择和软件设计模型的应用。